Фотоволтаичните керамични дюзи са прецизни керамични части за разпределение на газ и химическо пръскане при фотоволтаично производство. Те се използват в CVD и PECVD оборудване, системи за мокро-ецване и свързани възли за доставяне, където дюзата е част от процеса-флуиден път.

Основни предимства

±0,01 mm Точност на отвора

Точността на диаметъра на отвора е ±0,01 mm. В разпределителен възел за газ или течност с много-дюзи, контролирането на всеки проход до този диапазон намалява разликите между дюзите и поддържа по-постоянен поток през масива.

Ra По-малко или равно на 0,2 μm вътрешна повърхност

Грапавостта на вътрешната повърхност е Ra По-малко или равно на 0,2 μm. По-гладка стена оставя по-малко точки за събиране на частици или химически остатъци в тесни проходи, което спомага за забавяне на постепенното ограничаване на пътя на потока.

Гореща и корозивна обвивка на процеса

Максималната работна температура е 1200 градуса или 1500 градуса в зависимост от избраната керамика, а дюзите са определени да издържат на повечето киселинни и алкални газове. Следователно изборът на материал може да се основава както на работната температура, така и на технологичната среда.

Персонализиране

Материал

Изборът на материали е 99% алуминиев оксид и силициев карбид.

Дължина и интерфейс за монтаж

Габаритната дължина се изработва по чертеж на клиента. Могат да се добавят рамена, фланци, монтажни отвори и други детайли за локализиране, за да съответстват на интерфейса на оборудването.

Геометрия на изхода и потока

Одобреният чертеж или прототип може да дефинира разположението на отвора, посоката на изхода, геометрията на пръскането и конфигурациите на множество-дупки.

Спецификации

Параметър	Спецификация
Видове материали	99% алуминий, силициев карбид
Точност на диаметъра на отвора	±0,01 мм
Грапавост на вътрешната повърхност (Ra)	По-малко или равно на 0,2 μm
Дължина на дюзата	По чертеж на клиент
Макс. Работна температура	1200 градуса (алуминиев оксид) / 1500 градуса (силициев карбид)
Устойчивост на корозия	Устойчив на повечето киселинни и алкални газове

Контрол на качеството

Размерът на отвора се проверява след обработката. Вътрешният проход също се проверява за запушване, повреда по ръбовете и състояние на повърхността, преди дюзата да премине към функционална проверка.

Тестването на потока потвърждава, че готовият канал е отворен и осигурява постоянен канал. Външните размери, монтажните детайли и уплътнителните или локализиращите повърхности се проверяват отделно спрямо чертежа.

Преди опаковане дюзите се проверяват за външен вид, допустимо количество и чистота. Записите от инспекцията остават в партидата, може да се уреди-проверка от трета страна, а накрайниците на дюзите и прецизните повърхности са отделени в пакета.